Ultrasone halfgeleidersproei-coatingsysteem

Ultrasone halfgeleidersproei-coatingsysteem

Ultrasonic semiconductor atomization spraying is a precision thin-film deposition technology that uses high-frequency ultrasonic energy to atomize semiconductor materials (such as photoresists and conductive materials) into fineDeze druppels worden vervolgens met behulp van een draaggas nauwkeurig op het substraatoppervlak gespoten, wat resulteert in hoogwaardige, uniforme dunne filmcoatings.Deze technologie biedt voordelen zoals een hoge efficiëntieHet wordt veel gebruikt in de productie van halfgeleiders, nieuwe energie en glascoatings, ter vervanging van traditionele spuitmethoden.

Werkingsbeginsel

1Ultrasone atomisatie:

De kern van het apparaat is de ultrasone spuitstuk, die een omvormer bevat die elektrische energie omzet in mechanische trillingen met hoge frequentie.

2Vloeibare atomisatie:

Wanneer de vloeistof (oplossing, sol of suspensie) door het spuitstuk stroomt, genereert de trillende atomizer trillingen.de vloeistof wordt in microngrote druppels gebroken.

3- Draaggaslevering:

De geatomiseerde druppels worden vervolgens gelijkmatig naar het substraatoppervlak getransporteerd door een vooraf bepaalde hoeveelheid dragergas (zoals lucht).

4. dunne film afzetting:

Druppels worden op het substraat afgezet en vormen een continue dunne filmlaag.

Voordelen in halfgeleidertoepassingen

Hoge precisie en uniformiteit:

De mogelijkheid om ultradunne en uniforme dunne filmcoatings te deponeren is cruciaal voor toepassingen in de halfgeleiderfabricage, zoals fotoresisten, geleidende films en isolatiefilms.die een uiterst hoge precisie vereisen.

Verminderd materiaalverlies:

In vergelijking met het traditionele sproeien produceert het ultrasone sproeien vrijwel geen druppeltjes of overmatig spatten, waardoor het materiaalverbruik verscheidene malen toeneemt.met name geschikt voor het coachen van dure materialen.

Zacht sproeien:

Het sproeiproces is zacht en beschadigt het substraat niet, waardoor het geschikt is voor kwetsbare halfgeleidermaterialen en elektronische componenten.

Diversified Nozzles:

Om aan specifieke toepassingsvereisten te voldoen, kunnen sproeiers van verschillende breedtes, lengtes, vormen en doorstroming worden geselecteerd, waardoor een uniforme coating van lokale of grote gebieden mogelijk is.